荏原的精密与电子事业公司是真空技术和平坦化技术的领军企业，为行业最先进的技术制造现场提供支撑。荏原向全球供应半导体制造不可或缺的CMP装置以及干式真空泵、废气处理装置、臭氧水生产装置等各种产品。这些产品通过高性能、高可靠性和令人放心的技术支持体制，在众多领域得到了使用。除了半导体领域以外，在化学、医药、其他制造业和研究开发用途方面，荏原制作所的产品同样大放光彩。
非接触结构的干式真空泵对于构建洁净的真空环境来说不可或缺。荏原的干式真空泵在半导体制造工艺等各个领域大显身手。
生产精密的高度集成化半导体生产不可或缺的高吞吐量CMP装置、具有高度研磨性能的斜面研磨装置以及结构灵活的电镀装置。荏原向全球主要半导体厂商供应半导体生产装置。
废气处理装置是对导致氟化温室气体(PFCS)、有毒气体、VOC等制造工艺中发生的有毒气体进行无毒化处理，并排放到大气中的净化装置。荏原的废气处理装置还能够高效处理难以进行净化处理的PFCS气体。
臭氧水是将臭氧（O₃）溶解到水中而制成的，具有强大的氧化力。荏原的臭氧水生产装置能够生成高浓度且浓度非常稳定的臭氧水，有助于提高处理效率、提高洁净度。
